ท้องที่อำเภอวังเจ้าเดิมเป็นส่วนหนึ่งของอำเภอเมืองตาก ทางราชการได้แบ่งพื้นที่การปกครองออกมาตั้งเป็น กิ่งอำเภอวังเจ้า ตามประกาศกระทรวงมหาดไทยลงวันที่ 26 มิถุนายน พ.ศ. 2539 โดยมีผลบังคับตั้งแต่วันที่ 15 กรกฎาคม ปีเดียวกัน และต่อมาได้มีพระราชกฤษฎีกายกฐานะขึ้นเป็น อำเภอวังเจ้า ตามโครงการอำเภอเฉลิมพระเกียรติพระบาทสมเด็จพระเจ้าอยู่หัว เนื่องในโอกาสมหามงคลเฉลิมพระชนมพรรษา 80 พรรษา 5 ธันวาคม 2550 ในวันที่ 24 สิงหาคม พ.ศ. 2550 โดยมีผลบังคับในวันที่ 8 กันยายน ปีเดียวกัน